直拉单晶炉对循环水冷却系统中的水有哪些要求

如题所述

直拉单晶炉对循环水冷却系统中水的要求:
1、流量≥10立方米每小时每台。
2、压力为0.1-0.2MPa。
3、水质PH值6-8。
4、硬度≤50mg/L。
5、CLˉ≤10mg/L。
6、直拉单晶炉循环冷却水供水系统采用软水循环冷却以保证循环冷却水质和节约水资源,同时设有自来水冷却系统,作为停电等不能供给循环水时应急使用。整个系统分为循环冷却水供给部分、循环水冷却降温部分、循环水补给部分以及控制循环水质的循环冷却水过滤净化部分四个子系统。
7、由于采用冷却塔进行循环水冷却降温每天要损失大量循环水,因此,必须及时补给软水,保持循环水的数量。一般情况下补水量和冷却塔损失水量池水表面蒸发及渗漏量很小,可不计。
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第1个回答  2012-11-03
水的酸碱度,要软水循环,水的导电率等
第2个回答  2012-11-02
个人意见啊!
水温最好能够恒温(比较难),恒流量(流量计)
水温主要是控制热场的梯度,梯度在某个水温、某个流量(流量实际也是单位时间带走热量的快慢)调整好后,如果以上两个量变化了肯定影响热场的梯度,影响晶棒的成型和引起晶棒变形!本回答被提问者和网友采纳
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