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京运通单晶炉要求氩气流量 . 压力是多少?
如题所述
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推荐答案 2012-06-28
京运通是用浮子流量计,那么晶体生长氩气流量一般推荐用30slpm,压力为>4.5kg/c㎡
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第1个回答 2012-06-28
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