单晶炉一般是怎么冷却的。

如题所述

一般用氩气冷却,或者等硅料结晶后 用氮气冷却,冷却的时间根据单晶炉热场大小! 2楼的是在钻牛角尖。
温馨提示:答案为网友推荐,仅供参考
第1个回答  2011-04-16
你是指哪部份冷却?

1.生产过程中单晶炉靠水冷带走温度冷却,也是我们常说的循环水~~
2.停炉后的冷却,是靠Ar气带走温度,自然冷却~~本回答被提问者采纳
第2个回答  2011-04-13
单晶炉99.99%是水冷,氩气不是起冷却作用的
相似回答