直拉单晶炉对生产大厅的纯净度要求

如题所述

空气洁净度、温度和湿度等。
空气洁净度:生产大厅内的空气洁净度是直拉单晶炉对环境最基本的要求。为了满足这个要求,大厅需要保持一定的静压差,以防止外部污染的空气进入。同时,还需要安装高效过滤器,以去除空气中的尘埃和微粒,确保空气的纯净度。
温度和湿度:生产大厅内的温度和湿度需要保持稳定和适宜,以保证单晶炉的正常运行和生长。这可以通过安装空调系统和湿度控制系统等措施来实现。
温馨提示:答案为网友推荐,仅供参考
相似回答