直拉单晶炉的石墨加热器的温度是多少

Question

如题所述

Answer 1

15000C。根据查询石墨加热器相关资料显示，直拉单晶炉的石墨加热器的温度是15000C。把固态块状的多晶硅装入到单晶炉中的石英坩祸中，用单晶炉中的石墨加热器对多晶硅进行加热熔化，炉内温度高达15000C，熔化后经过引晶、放肩、等径、收尾、停炉等过程拉制出单晶硅棒，整个过程需要40-60小时，整个过程熔硅中的硅的氧化物、各种掺杂剂的氧化物等持续的挥发出来，沉积到单晶炉的炉壁及石墨热场的各个部件之上，拉晶结束后需要对单晶炉的各部件进行清扫，以便进行下一炉次的生长。