直拉单晶炉机械结构 工作原理是怎样的

Question

如题所述

Answer 1

直拉单晶炉机械结构的工作原理：

在惰性气体（氩气）环境中，用石 墨电阻加热器将多晶硅材料溶化，在特定温度区域 内采用软籽晶轴提升旋转机构，对原籽晶进行匀速 旋转提升，于此同时坩埚随着单晶的生长匀速旋转提升，实现生长成无位错单晶硅棒。

知识点延伸：

直拉单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。直拉单晶炉机械结构如下：

Answer 2

基本原理，多晶体硅料经加热熔化，待温度合适后。经过将籽晶浸入，熔接，引晶，放肩，转肩，等经，收尾等步骤，完成一根单晶锭的拉制。追问

有没有那台炉子的结构图 单晶炉

追答

CZ单晶炉都市这个原理。

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Answer 3

主要有电气和机械部分;电气部分是些控制系统.机械部分主要是热场. 坩埚里放熔融的硅,通过提拉籽晶复制籽晶的晶向

Answer 4

直拉法的设备：炉体、真空系统、气体系统、热场系统、电气控制系统、传动控制系统
炉体：炉体是多晶硅融化和单晶硅生长的场所，加热系统至于其中
真空系统：将Ar气通入炉体内后利用真空泵抽空，反复这个过程将炉体内的氧气抽干，
避免残余的氧气影响单晶硅棒的氧含量。
气体系统：通入的Ar气不仅起到传热介质的作用，同时带走炉体中挥发的SiO和CO
等气体
热场系统：热场系统包括石墨加热器、石墨坩埚、石墨-碳毡保温罩、石墨保温盖和石
墨电极。
电器控制系统：
温度控制系统：采用功率反馈和温度反馈相结合的方法控制温度高低
直径控制系统：采用拉速控制和温度控制相结合的方法控制直径大小
传动控制系统：传动系统包括晶升、晶转、锅升、锅转，一般采用测速电机和驱动电
机同轴的方法，取出速度变化的信号电压，将此速度信号电压与一
定电压相比较厚的差值，经放大区控制驱动马达的驱动电压，达到稳
定转速的目的。