真空镀膜影响膜品质的因素分析?

Question

要详细

Answer 1

影响薄膜质量的工艺要素:
1。真空度的影响
2。沉积速率的影响
3。基片温度的影响
4。离子轰击的影响
5。基片清洁的影响
6。基片材料的影响
7。膜层材料的影响
8。蒸发方式的影响
9。烘烤处理的影响
针对不同的问题要有不同的分析，希望对你有所帮助。