影响膜层质量因素
1.基底表面光洁度
2.真空度
3.基底温度
4.蒸发速率
5.公转速度
6.环境湿度
7.环境洁净度
膜层中灰尘点
1.存储和工作环境差
2.净化台赃
3.看不见的微小灰尘点未清洗干净
4.产品放置时间过长
5.真空室内脏
6.夹具胀
膜层中的溅点
1.电子枪蒸发速率过大,导致暴蒸
2.膜料预熔不充分
3.膜料被打穿
4.电子枪光斑位置打偏
5.膜料不纯
6.电子枪打火
7.离子源脏
8.镀膜过程移动光斑
膜层中的色斑
1.清洗时留下的水印
2.湿气污染留下的印迹
3.真空室脏
4.人为失误导致手印
脱膜
1.基底温度不够,恒温时间不足
2.镀膜时,真空度不够
3.水气污染
4.基底原因--—可能是转动不正常
5.真空内被油质污染
6.蒸发速率异常
7.镀膜过程无离子源辅助