能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。
原理:利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析。
与WDS(波谱仪)相比,EDS(能谱仪)具有以下优缺点: 优点:
(1)能谱仪探测X射线的效率高。
(2)在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数,在几分钟内可得到定性分析结果,而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。
(3)结构简单,稳定性和重现性都很好。
(4)不必聚焦,对样品表面无特殊要求,适于粗糙表面分析。