测厚度的仪器有哪些？

Question

如题所述

Answer 1

光学3D表面轮廓仪、激光共聚焦显微镜和台阶仪是测量厚度的常用仪器。
光学3D表面轮廓仪利用白光干涉技术原理，通过测量干涉条纹的变化来获取表面三维形貌，适用于精密零部件表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
激光共聚焦显微镜基于转盘共聚焦光学系统和3D重建算法，能够进行各种精密器件及材料表面的非接触式微纳米测量，测量结果包括表面物理形貌、微纳米尺度的三维形貌分析等。
台阶仪采用接触式探针测量方式，可以对微米和纳米结构进行膜厚、薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。其使用的线性可变差动电容传感器（LVDC）具有亚埃级分辨率和较宽的量程，适用于高精度测量。