1、金相测膜厚度
设备：金相显微镜
此方法适用于测量厚度＞1μm的金属膜层，可同时测量多层；被测样品需要经垂直于待测膜层取样进行金相制样，再在金相显微镜下观察并拍照测量待测膜层厚度。
【扫描信息测试信息】2、SEM测膜厚度
设备：扫描电子显微镜（SEM）
此方法测试范围宽，适用于测量厚度0.01μm~1mm的金属或非金属膜层；样品前处理与金相测厚相同，配有能谱附件（EDS）的SEM设备可以确定每一层膜层的成分。
3、荧光测厚度
设备：XRF测厚仪
此方法适用于测量厚度＞0.01μm的金属膜层，可同时测量多层；测量前需知道样品的镀膜工艺信息（如基材材料、膜层材料及顺序）；可以实现无损检测（视样品）。
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