举例说明电子探针的三种工作方式（点、线、面）在显微成分分析中的应用。

Question

如题所述

Answer 1

定点分析：对样品表面选定微区作定点的全谱扫描，进行定性或半定量分析，并对其所含元素的质量分数进行定量分析。例如，定点分析合金沉淀相和夹杂物的成分，以对其进行鉴定；定点分析微细新物相的化学成分等。
线扫描分析：电子束沿样品表面选定的直线轨迹扫描，进行所含元素质量分数的定性或半定量分析。例如，线扫描分析用于测定元素在材料内部相区或界面上的富集和贫化；分析扩散过程中质量分数与扩散距离的关系；对材料表面化学热处理的表面渗层组织进行分析和测定等。
面扫描分析：电子束在样品表面作光栅式面扫描，以特定元素的X射线的信号强度调制阴极射线管荧光屏的亮度，获得该元素质量分数分布的扫描图像。例如，分析掺杂元素在掺杂基体中的分布情况和均匀性；将元素质量分数分布的不均匀性与材料的微观组织联系起来，就可以对材料进行更全面的分析；扫描得到每一种化学成分像，研究微细新物相的化学组成，以确定是否属于新物相。