粗硅和氯化氢气体在高温下反应生成氢气和三氯氢硅：si+3Hcl=siHcl3+H2 (两边都有气体不用加气体符号)
14号元素硅分布极广
反应解释： 该反应是工业制高纯硅的一个中间反应，其中粗硅反应生成了三氯氢硅和其他的硅的取代物（例如siH2cl2、siH3cl等）。硅与Hcl不可能得到纯的siHcl3的，肯定会有各种硅的氯代化物，因此想得到只能用除杂的方法（蒸馏）。
工业制硅可产出siHcl3
性质补充： 而sicl3常温为无色透明的易挥发液体，有强烈气味，密度大且沸点低：其极易与水反应，生成二氧化硅、氯化氢和氢气，高浓度时甚至有很强的毒性，吸入其蒸汽可能导致死亡！
三氯氢硅液体
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