洁净等级的划分标准

Question

如题所述

Answer 1

法律分析：洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，是根据悬浮粒子浓度这一唯一指标来划分的，同时考虑粒径限值在0.1um～5.0um范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径，可以将粒子分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
法律依据：洁净室及相关控制环境的空气洁净度国际标准（ISO14644-1）中，对悬浮粒子的相关规定如下：
2.2 悬浮粒子
2.2.1 粒子：用于空气洁净度分级的固体或液体物质，其粒径阈值（低限）范围在0.1μm-0.5μm，并呈累积分布。
2.2.2 粒径：由给定的粒径测定仪响应出的（与数链梁被测粒子作出的响应当量）的球体直径。注：离散粒子计数和光散射仪器使用当量光学直径。
2.2.3 粒子浓度：单位体积空气中的单个粒子数。
2.2.4 粒径分布：作为粒径函数的粒子浓度之累积分布。
2.2.5 超微粒子：当量直径小于0.1μm的粒子。
2.2.6 大粒子：当量直径大于0.5μm的粒子。
2.2.7 纤维：长宽比等于或大于10的粒子。