就采用能谱检测结果而言，请问扫描电镜和电子探针有什么差别？电子探针元素面扫是能谱还是波谱分析的？

Question

如题所述

Answer 1

扫描电镜束流小，电子探针能谱分析结果比扫描电镜能谱精确一个数量级，电子探针元素面扫描可以用能谱，也可以用波谱，一般对轻元素（C以下），波谱较准确，相对来说波谱扫描时间较长，一般定性及半定量基本用能谱。

Answer 2

波谱可以进行准确的定量分析。线扫描和免扫描的话波谱比能谱精确。扫描电镜精神大，束流小，做形貌像的话，能满足的放大倍数较大