低温真空探针台

如题所述

低温真空探针台:解锁物理学领域的精密测试新篇章</


低温真空探针台,这款专为晶体管、器件与材料科学家精心设计的仪器,凭借其卓越的精准控制性能,为现代科学研究提供了无与伦比的测试环境。它巧妙地融合了低温、高温、恒温及磁场调控,辅以低振动技术,确保在高空间分辨率光学显微镜下,样品位置的稳定性如丝般顺滑。


多功能测试平台</


无论是在薄膜、纳米材料、石墨烯,还是电子、超导、铁电等各种尖端材料的研究中,高低温真空探针台都是理想的测试伙伴。它能适应各种极端环境,如微结构半导体器件在真空和不同温度下的电学特性表征,确保测试结果的精确性和可靠性。


卓越性能与应用领域</


这个精密设备可进行多种测量,包括电学特性、光电特性、参数测量,以及DC和RF的测量,广泛应用于半导体工业、MEMS、超导、电子学和材料科学等多个前沿领域。它能在真空与常规环境中,精确测试样品的电性、光强、波长和磁场响应。


性能指标:精确与高效</



    温度范围</: 从绝对零度的7K到675K的高温区间
    环境兼容性</: 适用于真空及标准测试环境,拥有极高的温度分辨率和定制低温系统
    样品台</: 支持2至8英寸样品,弹簧压片固定,确保稳定
    真空度</: 突破性低至2×10-5 Torr,防辐射设计确保均匀温度分布
    接口丰富</: 包括真空接口、光纤接口、电信号接口和冷源接口

特殊功能与应对挑战</


面对晶圆低温测试中的水汽凝结问题,它采用高效真空泵,确保测试前水汽清除和全程真空环境的维持。高温测试中,探针台能有效防止氧化,通过控制真空腔内氧气含量,保持测试过程的稳定性。


温度变化带来的热胀冷缩挑战,探针臂具备自动化调整功能,确保在温度变化时,探针与器件的精确对接。同时,选择不同尺寸的载物台和多种固定方式,满足不同测试需求。


技术细节</



    真空度:至少10-5 Torr
    温控系统:压缩机、液氮或液氦制冷
    温度范围:7K到675K,分段控制精度达±0.1K
    影像系统:单筒、体式或金相显微镜,放大倍数可选
    其他特性:如观察窗材质的熔融石英,探针臂的XYZ移动行程,以及精确的接头类型

总结,低温真空探针台凭借其出色的性能、广泛的适用性和高度的灵活性,为科学研究者们提供了一把打开未知领域的金钥匙,是推动科技进步不可或缺的精密工具。

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