电容式位移传感器精度最高能到多少？量程呢？

Question

如题所述

Answer 1

以德国米铱的capaNCDT6530系列为例，绝对误差能够达到0.1微米，静态分辨率达到0.0375纳米，动态分辨率达到1个纳米。但是使用条件要特别注意，比较严苛。


电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。

Answer 2

首先精度这个概念比较模糊，如果你指的是绝对误差，也就是测量值和理论真实值之间的差，我见过的最精的是德国米铱的capaNCDT 6530 配CS005探头，绝对误差可达0.1微米。如果你指的是分辨率，6530静态测量时可达0.0375nm， 动态分辨率可以达到1nm。CS005这款的量程是0.05mm。总之要有一个概念，非接触位移传感器的绝对误差（或者叫线性度）以及分辨率都与量程相关，量程越小，则绝对误差和分辨率越小，但相对来说可以适用的测量就只能是微小移动或者变形。具体你选哪款要看实际情况。另外电容传感器因为是测量探头到被测物体之间的介质介电常数的变化，换算成位移量，所以意味着要求使用环境要相对好，不能有太多灰尘或者油污。希望能帮到你。本回答被网友采纳

Answer 3

NXsensor超精密电容位移传感器
量程20～1250μm；
分辨率<0.1nm；零磁滞；
线性最高0.02%；
频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调；
真空兼容选项；