如何测千瓦功率的激光光斑能量分布

如题所述

输出得依靠激光器的腔型决定,对248nm而言,应该是KrF 准分子激光,这类激光器一般输出都是高斯光束.这类激光器一般是连续光输出,因此只能用功率分布来表示,应该是高斯分布.光斑内的功率可用刀口法测量,一般的积分也能够获得功率大小.
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第1个回答  2017-11-05
嗯,窒息
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