消毒：臭氧为气体消毒剂，其过程为强氧化作用使微生物细胞中的多种成分产生反应，从而产生不可逆转的变化而死亡。
臭氧灭活病毒是通过直接破坏其核糖核酸(RNA)或脱氧核糖核酸（DNA）物质完成的。
而杀灭细菌、霉菌类微生物则是臭氧首先作用于细胞膜，使膜构成成分受损伤，导致新陈代谢障碍并抑制其生长，臭氧继续渗透破坏膜内组织，直至杀死。
湿度增加提高杀灭率，是由于高湿度下细胞膜膨胀变薄，其组织容易被臭氧破坏。
除臭净化：臭氧去除异味性能极好。
依靠其氧化性能可快速分解产生臭味及其他气味的有机或无机物质。
臭味的主要成分是胺R3N、硫化氢H2S、甲硫醇CH3SH等。
臭氧对其氧化分解，生成物没有气味。
臭氧与消毒剂比较：臭氧作为高效广谱无残余污染的气体消毒剂比食品行业常用的消毒剂（如过氧乙酸、高锰酸钾、甲醛、二氧化硫）等具有特殊的优越性臭氧会自行分解为氧气，不产生残余污染，消毒后不需通风换气。
常规消毒均需通风换气或化学中和，麻烦而又降低消毒效果臭氧与紫外线照射比较：紫外线以光波辐射作用，只有照射到的位置且达到照射强度标准才有效果。
食品车间很高、很大，照射强度与距离平方成反比，强度不够，照射又有很大死角。
臭氧为气体，扩散性好，无死角，浓度均匀紫外线在相对湿度60%以上时效果急剧下降，80%湿度上时反可诱使细菌复活。
臭氧则相反，湿度越高效果越好，对食品行业80%－90%高湿环境特别适合
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