原因：有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
解决方法：看看进气口和排气口是否接错了，三相泵的话看看是不是电机反转了。如果真空泵电机还是好的。而且如果是不同工作方式的泵，不能正常工作的原因还是有所区别的，不能一概而论。
由于真空泵有选择性抽气，选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。
扩展资料：
转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。
在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而泵腔分成两个可变容积。
在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。
参考资料来源：百度百科——真空泵
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