多晶硅尾气车间是干什么的

Question

如题所述

Answer 1

多晶硅尾气车间是三氯氢硅合成、四氯化硅的热氢化，精馏，还原和尾气回收。
多晶硅尾气车间是最主要的工艺包括，三氯氢硅合成、四氯化硅的热氢化，精馏，还原，尾气回收，还有一些小的主项，制氢、氯化氢合成、废气废液的处理、硅棒的整理等等。
多晶硅企业在还原三氯氢硅过程中会产生大量氯硅烷尾气，成分和结构复杂，主要是四氯化硅和三氯氢硅。