二氧化钛薄膜的质量与哪些因素有关

如题所述

二氧化钛薄膜质量的影响因素:
1、气压:影响水解等关键工艺控制。
2、水:水中杂质对二氧化钛质量影响也较大,一般是除盐水,最理想是蒸馏水。
3、粉尘:对中间产品及成品造成污染,特别是黑颗粒。
4、空气:选择空气污染小、尾气易飘散的地方。
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