原子力激光显微镜
扫描隧道显微镜技术曾在1986年荣获诺贝尔物理学奖。这是物理学与计算机结合的产物。它是把电压加到样品和探针上，当探针接触样品时产生隧道电子，其隧道电子数将随样品到探针的间距而改变，目前其纵向和横向分辨率均可达埃（微微微米）级。
在扫描隧道显微镜基础上，美国数字仪器公司又推出了原子力显微镜。该技术是把前者的导体探针改为金刚石针，并使其悬浮在样品表面。利用光学杠杆法进行原子间排斥力的探测，从而给出被测表面的三维数据和图形。
与扫描隧道显微镜相比，原子力X激光显微镜不仅可检测导体，而且可检测绝缘体，并由接触式改进为非接触式。