球差电镜是什么意思

Question

如题所述

Answer 1

球差电镜，球差是像差的一种，是影响TEM分辨率的主要原因之一。由于像差(球差、像散、彗形像差和色差)的存在，无论是光学透镜还是电磁透镜，其透镜系统都无法做到。光学透镜中，可通过将凸透镜和凹透镜组合使用来减少由凸透镜边缘汇聚能力强中心汇聚能力弱所致的所有的光线(电子)无法汇聚到一个焦点的缺点，可对于电磁透镜，我们没有凹透镜，球差便成了影响TEM分辨率最主要也最难解决的问题。

球差电镜的产生:TEM中包含多个磁透镜：聚光镜、物镜、中间镜和投影镜等。球差是由于磁镜的构造不好造成的，这些磁镜组都会产生球差。当我们矫正不同的磁透镜就有了不同种类的ACTEM。当我们使用STEM模式时，聚光镜会聚电子束扫描样品成像，此时聚光镜球差是影响分辨率的主要原因。因此，以做STEM为主的TEM，球差校正装置会安装在聚光镜位置，即为AC-STEM。而当我们使用image模式时，影响成像分辨率的主要是物镜的球差，此种校正器安装在物镜位置的即为AC-TEM。当然也有在一台TEM上安装两个校正器的，就是所谓的双球差校正TEM。

球差电镜安装了物镜矫正器或者聚光镜矫正器，消除了一些透镜系统中存在的球面像差，将透射电镜的分辨率提高到了亚埃级。它可以在两种模式下工作，分别是“TEM模式”和“STEM模式”，在TEM下更多是观察形貌，在STEM模式下，可以做EDS和EELS成分线扫和mapping。