大平台检测显微镜基本介绍

Question

如题所述

Answer 1

大平台检测显微镜是为IT行业的集成电路设计开发的专用设备，适用于大面积晶片的质量检测。它拥有正置式、三目镜筒的主体结构，比传统显微镜更便于观察。上部安装的彩色摄像机可以直接连接彩色监视器进行实时观察。通过连接计算机，可以打印报告、照片，或连接数码相机直接拍照，实现图像记录和建立技术检测档案，方便存储和查询，显著提高了工作效率。

大平台检测显微镜具有以下特点：
1. 放大倍数范围：40倍至500倍。
2. 超大型载物台，样品支持在纵、横方向进行快、慢速移动，检测范围更广。
3. 可与OVM-TM软件配合使用，提高检测效率。

技术参数如下：
1. 机械筒长：160mm
2. 物镜：包括4×、10×、20×、40×放大倍数，数值孔径分别为0.10、0.25、0.40、0.65，有效工作距离为17.9mm、6.5mm、1.05mm、0.736mm，介质为干式。
3. 目镜：提供10×、12.5×两种放大倍数，焦距分别为25mm、25mm，视场直径分别为18mm、14mm，其中12.5×为选配。
4. 放大倍数：40×至500×。
5. 载物台面积：350mm×255mm，纵向移动范围200mm，横向移动范围200mm。
6. 粗微动调焦范围：25mm，微调转动一圈样品升降0.2mm，格值为0.002mm。
7. 光源：采用钨卤素灯6V20W，内藏式连续调光电源。
8. 物镜转换器：四孔式（三孔式）。
9. 目镜筒：三目镜（双目镜）。

大平台检测显微镜广泛应用于电子、冶金、机械、化工、科研、教育等多个领域，以及金相技术检验、失效分析等，是提高检测效率和质量的重要工具。