点胶机:又称涂胶机、滴胶机、打胶机等,是专门对流体进行控制,并将流体点滴、涂覆于产品表面或产品内部的自动化机器。涂覆机又称涂胶机、喷胶机、喷油机等,是专门对流体进行控制,在基片表面盖上一层材料,如用浸渍、喷涂或旋涂等方法在基片表面覆盖一层光致抗蚀剂。