碳氢清洗机的工作原理主要依赖于碳氢清洗剂的溶解特性。这种清洗剂的清洗机制基于相似相溶原则，即它能有效地溶解油脂或油性污渍，因为其分子结构与油脂分子有相似性，如R-COOH（低级脂肪酸）和R-OH（低级醇）等，它们能与水形成互溶关系。
界面张力和表面张力是影响异种液体溶解性的关键因素。当两种液体的界面张力接近时，它们更容易发生溶解。换句话说，如果清洗剂与污染物质之间的界面张力小，清洗效果就会更佳。
工作原理图展示了这个过程的直观示例：清洗剂分子会渗透到污染表面，形成一个低界面张力的区域，从而溶解并分离出油脂，最终通过物理或化学作用将其从表面清除。这种精密的设计使得碳氢清洗机能够在保持高效清洗的同时，对被清洗材料的表面造成最小的损害。
WF-CH-5072（和丰自动化-wellfung）全自动真空碳氢清洗机过程由PLC自动控制，设备生产主线由2真空脱气超声波清洗，1个强力真空超声波洗， 2个蒸汽洗+真空干燥组成，其工作原理是利用超声波渗透力强的机械震动力冲击工件表面并结合碳氢清洗剂的化学去污作用，在真空状态下进行全面清洗，使工件表面和盲孔、狭缝干净。