sem测试主要测形貌、能谱、镀金。
1、形貌：
仪器放大倍数范围是100倍-20W倍，常规样品可以拍摄到8-10W倍，导电性不好或磁性样品大于8W倍可能会不清晰。
2、能谱：
SEM能谱一般只能测C（含C）以后的元素，如果需要打能谱，需要备注好测试位置以及能谱打哪些元素，需要注意的是制样时待测元素不能与基底成分有重合，如果要测C元素，样品不要分散到含C的基底上，可以分散到硅片，锡纸上，如果要测Si元素，注意不要制样到硅片上。
3、镀金：
为了保证拍摄效果，一般导电差或者是强磁性的样品都需要镀金之后进行拍摄。
仪器简介：
扫描电子显微镜（SEM）是利用二次电子和背散射电子信号，通过真空系统、电子束系统和成像系统获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等的一种分析仪器。
随着科学技术水平的提高，其放大倍数可达几十万倍，分辨率可达纳米级别，是形貌和成分分析领域极其重要的一种工具。
sem工作原理：
二次电子：
二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用最广泛，分辨本领最高的一种图象。
二次电子成象是由电子枪发射的电子束最高可达30keV，经会聚透镜、物镜缩小和聚焦，在样品表面形成一个具有一定能量、强度、斑点直径的电子束，在扫描线圈的磁场作用下，入射电子束在样品表面上按照一定的空间和时间顺序做光栅式逐点扫描。
背散射电子：
背散射电子是电子束轰击样品过程中被样品反射回来的部分电子，包括被弹性背散射电子和非弹性背散射电子。扫描电镜中所指的背散射电子多指弹性背散射电子，其产生于距离样品表面几百纳米深度，分辨率低于二次电子图像分辨率。
特征X射线：
高能电子束轰击样品时将样品中原子的内层电子电离，原子处于较高激发态，外层高能量电子向内层跃迁从而释放能量，这部分辐射能量成为原子的特征X射线，这些特征X射线可以用来鉴别组成成分及样品中的元素。