电子级硫酸按照超净高纯试剂SEMI国际标准等级划分，可分为G1、G2、G3、G4、G5五个类别，其中，G1属于低档产品，G2属于中低档产品，G3属于中高档产品，G4和G5属于高档产品，G2、G3、G4、G5四个等级分别对应国内产品纯度等级UP、UP-S、UP-SS、UP-SSS。电子级硫酸又称高纯度硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂，是半导体工业常用的八大化学试剂之一。电子级硫酸广泛用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要用于
硅晶片的清洗和刻蚀，可有效去除晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。