扫描电镜图参数代表什么？

Question

如题所述

Answer 1

扫描电镜图像中的参数对于图像质量和解读非常重要。让我来解释一下扫描电镜图像中常见的参数：
加速电压 (EHT)：加速电压是指电子束在扫描电镜中的加速电压。较高的加速电压通常会提高图像的分辨率，但过高的电压可能导致样品表面信息丧失。因此，根据样品的性质和需求，选择合适的加速电压很关键。
工作距离 (WD)：工作距离是物镜下极靴到样品表面的距离。增大工作距离会降低分辨率，但增加景深。根据需要，可以选择不同的工作距离。
放大倍数 (Mag)：放大倍数表示图像在屏幕上的放大倍率。不同厂家和仪器的定义可能不同，但一般情况下，放大倍数越高，图像越大。注意，放大倍数只在屏幕上有效，照片拷贝出来后会自动处理，这时放大倍数就没有意义了。
探测器种类：不同的探测器用于不同的目的。例如，SE2 探测器用于样品形貌检测，而ASB 探测器用于元素衬度成像。
总之，加速电压、工作距离、放大倍数和探测器种类是影响扫描电镜图像质量的关键因素。根据具体需求，灵活选择这些参数，以获得理想的电镜图像。

Answer 2

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1、放大率：
与普通光学显微镜不同，在SEM中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。
所以，SEM中，透镜与放大率无关。
2、场深：
在SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。
3、作用体积：
电子束不仅仅与样品表层原子发生作用，它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用，所以存在一个作用“体积”。
4、工作距离：
工作距离指从物镜到样品最高点的垂直距离。
如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。
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