多晶硅冷氢化车间最大压力是多少

如题所述

最大压力3.5mpa。
多晶硅生产不管采用改良西门子法还是采用硅烷热分解法,均需要将产生的大量四氯化硅进行循环利用。将四氯化硅、硅粉、氢气发生如下的冷氢化反应。
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