1.冷却水路不通畅或水压不够，导致冷却能力下降，扩散泵上半部分变热，油蒸汽不能良好液化。解决办法将扩散泵进水管接以4mpa的气源，吹出水垢，接出水管同样以4mpa吹。若水垢结的很多并且牢固，可通入稀盐酸。或者更换扩散泵。
2.加热温度过高，由于扩散泵加热器功率与额定功率不符，过高，造成蒸汽量大，可造成返油，更换电炉丝可解决。
3.加油量过高，加油量高容易导致蒸汽量循环缓慢，向下级压缩时滞留，造成返油，根据厂家提供信息进行加油量的控制可避免。
4.油氧化，扩散泵油氧化后，粘稠度和蒸汽流都受到影响，达不到喷射速度，自然就返到真空室内。可讲扩散泵拆下，将泵心取出，用120#汽油进行清洗，然后打磨，将结碳和黑色氧化层打磨掉，再次用120#汽油清洗、晾干，然后安装，倒入扩散泵油或硅油，加热几次以后才可以投入工作。防止污染工件。
5.若扩散泵服役时间超过8-10年，或在恶劣的环境下使用，可考虑更换。提高工作效率及维护成本。
哎呀妈呀，累死了
参考资料：手书