请问一下各位高手,单晶炉有没有一个设备参数叫做等静功率,如果有的话请问是什么意思?

如题所述

硅单晶在等直径生长时所需要的电加热功率,大小主要和热场大小保温性能、炉子、装料料、单晶直径长度、等径埚位、拉速等有关,一般热场越大功率越大,目前常用有18寸、20寸、22寸三种热场,功率一般是35-48kw、40-55kw、48-65kw,有些设计不合理的热场功率会偏差非常大。。。
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第1个回答  2011-12-20
等径吧,等径一般有2种状态,手动和自动,当然功率是不一样的,和炉子大小,热场大小,装料的多少,人为因数,参数因数等等都有关系的。总之一般都在38到48kw之间。个人的总结的,不权威!
第2个回答  2011-12-19
应该是等径功率吧!追问

哦,那这个量是什么意思呢?

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