在面对六氟化硫的防护时，首要关注的是人体的呼吸系统和眼睛。由于该物质可能引发多种有毒气体的泄漏，对呼吸系统的保护至关重要。一般来说，过滤式防毒面具由于是负压设计，防护效果相对较弱，对于存在多种毒气且浓度未知的环境，选择它们并不理想。正压式空气呼吸器能够完全隔绝毒气，无论毒气种类和浓度如何，都是更为安全的选择。在选择正压式呼吸器时，应考虑毒气是否具有直接致命的风险，以确保选用的设备符合实际需要。
一旦发生有毒气体泄漏，现场人员应立即使用个人防护设备，如逃生器，并迅速撤离泄漏源。中毒者需迅速转移到空气新鲜的地方，如需复苏，可以使用氧气复苏仪或进行人工呼吸。应急处理人员在进入事故区前，必须佩戴空气呼吸器、穿戴防护服和手套，以确保自身安全。同时，他们还需要对现场进行通风，以稀释和扩散有毒气体。在高浓度区域工作时，必须有专人监护，确保安全进行。
SF6气体已有百年历史，它是法国两位化学家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性气体，1940年前后，美国军方将其用于曼哈顿计划（核军事）。1947年提供商用。当前SF6气体主要用于电力工业中。SF6气体用于4种类型的电气设备作为绝缘和/或灭弧；SF6断路器及GIS（在这里指六氟化硫封闭式组合电器，国际上称为“气体绝缘开关设备”（Gas Insulated Switchgear)）、SF6负荷开关设备，SF6绝缘输电管线，SF6变压器及SF6绝缘变电站。80%用于高中压电力设备。