EDS能谱测试介绍

Question

如题所述

Answer 1

能谱EDS是能量色散X射线光谱仪，其原理基于X射线管产生的X射线辐射在物体表面，导致样品内层电子被逐出，产生空穴。外层电子自发跃迁填补空穴，释放X特征射线，能量与入射能量无关，仅与两能级能量差有关。特征X射线进入硅探测器后电离，产生电子-空穴对，数量与光子能量成正比。利用偏压收集，转换为电压脉冲，通过多脉冲高度分析器计数，形成能谱。

EDS谱峰表示不同元素，但含量高并不直接对应峰位多。EDS分析基于电子壳层电子跃迁，谱线数量反映外层电子分布，通过选择特定谱峰强度和元素响应值进行定量分析。不同元素谱线特性决定分析。

X射线能谱仪由探测头、放大器、多道脉冲高度分析器、信号处理和显示系统组成。探测头将X射线光子信号转换为电脉冲，放大器增强信号，多道脉冲高度分析器按能量区分脉冲，信号处理系统用于鉴别、计算和记录分析结果。

EDS能谱仪具有点、线、面分析功能。点分析在样品表面某点进行定性或定量分析，准确度高，适合低含量元素分析。线分析沿样品表面扫描，收集元素特征X射线，获取元素含量变化图。面分析在样品区域扫描，得到元素分布图，适用于杂质、相分布研究。

定量分析EDS通过标样比较或理论计算，计算元素百分含量。最低检测含量为0.X%，定量分析误差＜±3%。EDS分析快速，对样品损伤小，检测线一般为0.1%~0.5%。

EDS样品制备需根据不同类型：块状样品需光滑切面；粉末样品需球形粉末，熔融压制；液体样品倒入容器，顶部分析；过滤纸试样需选择无干扰元素的过滤材料；其他样品则几乎适应所有尺寸、形状和物理性能的样品。