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微波等离子技术
什么是
微波等离子
体
答:
它广泛存在于宇宙中,常被视为是除去固、液、气外,物质存在的第四态。
等离子
体是一种很好的导电体,利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。
微波等离子
体原理是什么?
答:
微波
诱导微放电源是基于“微波带”
技术
在大气压环境下产生的一种
微等离子
体,它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源。微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区,同时也减少了不必要的外空间辐射损失,有利于耦合效率的提高,从而获得高密度等离子体。
微波等离子
体有什么优势?
答:
等离子
体是物质存在的第四态,比气态能量更高,等离子体是良导体,受磁场影响。
微波
是等离子体产生的方法之一,
微波等离子
体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点,其等离子体发生室和处理室可分合,工艺灵活。
微波等离子
体有什么优点?
答:
5.等离子可以采用磁约束的方法,约束在约定的空间内,微波结和磁路可以兼容。6.安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离,这是直流等离子体不能达到的。微波泄漏小,容易达到辐射安全标准。这是高频感应等离子体难以达到的。7.微波发生器是稳定的,易控的。8.
微波等离子
体,在许多情况下是一种比较宁静...
微波等离子
体化学气象沉积的工作原理?
答:
电离和分解程度高, 原料气体分解充分, 等离子体密度高;④ 运行气压范围宽, 在高气压下能维持等离子体;⑤
微波等离子
体密度涨落低, 重复性好, 等离子体参数(离子密度、电子温度)的调整较为方便;⑥ 衬底外形适应性强。由于MPCVD 法具有以上优点, 利用该方法制备的金刚石膜具有良好的微观结构和与基体...
微波等离子
体合成原理是什么?
答:
采用微波电场加速电子,电子激发、电离中性气体,从而产生等离子体,该类等离子体被称作
微波等离子
体。
为什么工业上常用
微波等离子
清洗
答:
而对金属类东西,则会反射
微波 等离子
体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁等目的。微波...
为什么将葡萄切成两半放入
微波炉
可以制造出
等离子
体呢?
答:
这是因为葡萄中富含钠,足够强大的电子厂会电离葡萄中的钠离子,形成
等离子
体,而等离子体形成的过程中会从
微波
中吸收更多的能量。等离子体如果以120赫兹的频率脉动,它的主电源可能只需要60赫兹,这会进一步使周围空气电离并产生火焰。在这个实验中,葡萄的大小以及两个葡萄之间的距离非常重要,这与其他...
微波等离子
产生的热量
答:
非常高。
微波等离子
可产生的热量非常的高,相关记录中只有一定的公式,并没有具体数值,且微波等离子体
技术
常用于半导体生产工艺,可进行刻蚀、溅射、气相沉积、氧化硅片等。
低温
等离子
和
微波
区别
答:
物质形态不同。低温
等离子
和
微波
之间的区别就是物质形态不同。低温等离子是一种在特定条件下电离的气体物质,被称为物质的第4态,而微波是指频率为300MHz-300GHz的电磁波,是无线电波中一个有限频带的简称。
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