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微波等离子技术是啥
什么是微波等离子
体
技术
?
答:
微波是
等离子体产生的方法之一,
微波等离子
体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点,其等离子体发生室和处理室可分合,工艺灵活。微波等离子体具有其他等离子体难以比拟的优势和特点
什么是微波等离子
体
答:
它广泛存在于宇宙中,常被视为是除去固、液、气外,物质存在的第四态
。等离子体是一种很好的导电体,利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。
微波等离子
体原理
是什么
?
答:
微波诱导微放电源是基于“微波带”技术在大气压环境下产生的一种微等离子体
,它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源。微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区,同时也减少了不必要的外空间辐射损失,有利于耦合效率的提高,从而获得高密度等离子体。
微波发生器-固态功率源,非常适合用于
微波等离子
体
技术
中
答:
是为微波等离子体装置提供能量的单位
,它可把电能变换为额定频率(915MHz和2.4GHz)的微波能量,并实现对微波功率的调控。微波发生器作为微波等离子体设备的核心功能单元,它输出功率的稳定性和可靠性严重影响着微波等离子体技术的发展。作为提供能量的部分,微波发生器 需要维持等离子体设备进行长时间连续平稳...
微波等离子
体合成原理
是什么
?
答:
采用微波电场加速电子,电子激发、电离中性气体,从而产生等离子体,该类等离子体被称作
微波等离子
体。
微波等离子
体化学气象沉积
是什么
?
答:
微波等离子
体 CVD (Microwave PCVD, MPCVD)将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入反应器,并通入 CH4与 H2的混合气体,在微波的激励下,在反应室内产生辉光放电,使反应气体的分子离化,产生等离子体,在衬底上沉积得到金刚石膜。---优普莱等离子体专业从事等离子体研发 ...
什么是微波等离子
体激发源?
答:
微波等离子
体激发源是一项最近几年发展起来的集成电子技术、
微波技术
和等离子体技术于一体的高新技术。它是随着MEMS技术的发展而发展起来的。将微波等离子体结合MEMS工艺可使用微等离子体的结构和特性发生巨大的改变。
微波等离子
体有
什么
优势?
答:
5.等离子可以采用磁约束的方法,约束在约定的空间内,微波结和磁路可以兼容。6.安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离,这是直流等离子体不能达到的。微波泄漏小,容易达到辐射安全标准。这是高频感应等离子体难以达到的。7.微波发生器是稳定的,易控的。8.
微波等离子
体,在许多情况下是一种比较宁静...
微波等离子
体化学气象沉积的工作原理?
答:
微波等离子
体化学气相沉积(简称MPCVD)法作为目前适合金刚石薄膜工业生产的主要方法之一, 与其他如热丝辅助化学气相沉积法(简称HFCVD)、直流等离子体化学气相沉积法(简称DC-PCVD)和射频等离子体化学气相沉积法(简称Rf-PCVD)等相比, 具有以下优点:① 沉积温度低;② 微波放电是无极放电, 无气体污染和...
MPCVD装置
是什么
?
答:
mpcvd即Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition的单词缩写,中文意思为
微波等离子
体化学气相沉积。mpcvd装置是用来批量生长单晶、多晶金刚石的一种设备。
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