77问答网
所有问题
氦气检漏仪的工作原理
真空镀膜检测腔体漏气
举报该问题
其他回答
第1个回答 2020-03-04
主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成.
离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子.
分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同;在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙;打在收集器上.
收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器.通过测量离子流就可知漏率.
冷阴极电离真空计指示质谱室的压力保护装置.
希望我的回答对你有所帮助.详聊QQ929220156
相似回答
真空箱的
氦气检漏原理
是什么
答:
氦质谱检漏仪:
原理其实把氦气分子电离后从阴极射线打出来,跟CRT一样,进入一个相互垂直的电、磁场,通过氦原子偏转来测试漏率的
,单位是帕立方米每秒。检漏仪一般采用德国英福康的。
氦检
机设备操作
原理
答:
收集放大器收集
氦
离子流并出入到电流放大器.通过测量离子流就可知漏率.冷阴极电离真空计指示质谱室的压力保护装置.
你认为
氦检漏的工作原理
是什么?
答:
真空箱氦检漏,根据氦检漏的基本检漏原理,
用氦气作为示踪气体,在真空箱内将氦气充入工件,然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况
。操作者把工件放在真空箱内,将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接,在真空箱门关闭后,系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏...
氦
质谱负压检测是什么
答:
转载:《分析测试百科网》
氦
质谱
检漏仪原理
一、为什么要检漏 泄漏和密封相对应 很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下
工作
,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则...
氦质谱
检漏仪的工作原理
答:
在这个密封腔体内充满
氦气
,用质谱
检漏仪
在不腔体外,不同部位检测,如果密封存在问题,则有氦气泄漏,被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪,对分辨率和检测的质量范围要求很低,但对灵敏度要求较高。楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱
仪的原理
和分析过程。其实各个种类的质谱仪都可用来作为...
氦气检漏仪的工作原理
答:
(1)
工作原理
与结构
氦
质谱
检漏仪
由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。①单级磁偏转型氦质谱检漏仪现以HZJ—l型仪器为例.介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪,其结构如图2所示。在质谱室内有:由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源;由外加均匀磁场、挡板及...
氦
质谱
检漏仪
单位是什么?
答:
氦质谱
检漏仪工作原理
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用
氦气
作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成...
大家正在搜
氦气真空检漏仪工作原理
氦气体分析仪工作原理
真空氦检漏工作原理
氦气测量仪原理是什么
氦气测试泄漏
氦检质谱仪工作原理
氦气泄露检测目的
氦检原理
氦气检漏和空气检漏一样吗
相关问题
氦质谱检漏仪的工作原理
使用氦气检漏仪的具体过程为如何?
氦气检漏仪不抽真空是哪里的故障。
氦质谱检漏仪的概念是什么
氦气检漏仪具体检漏过程是怎样的?
气体检漏仪的使用方法?
真空箱的氦气检漏原理是什么