中华民国成立后，废府撤州，实行省、道、县三级制。1913年撤销沂州府，改莒州为莒县。1914年分山东省为4道，改兰山县为临沂县，临沂地域分属济宁道和胶东道。1918年撤销。1936年划为山东省第三行政督察专员公署。
抗日战争时期，这里是中国共产党创建的抗日根据地。1940年8月，在沂南县青驼寺成立山东省战时工作推行委员会。1943年9月改为山东省战时行政委员会。1945年8月在莒南县大店镇成立山东省政府。在抗日战争时期，这里相继建立过30多个县级和县级以上政权机构。其中属于县级的政权组织，一般称抗日民主政府，也有一些称作行署或办事处。这些县级政权组织，都独立的发挥县级政府的作用，分属鲁中、鲁南、滨海3个行政区。解放战争时期，行政区划层次仍沿袭抗日战争时期，只是对区划作了某些调整。1948年7月，鲁中、鲁南、滨海三个行政区合并为鲁中南行政区，设鲁中南行政公署（驻临沂城），下辖7个专区，49个县。至1949年10月1日，临沂地域分属沂蒙、尼山、台枣、滨海4个专区。
1950年5月，鲁中南行政区撤销：以沂蒙专区为基础，成立沂水专区，辖9县；以滨海专区为基础，成立临沂专区，辖9县。1953年1月将原属临沂专区的赣榆、东海、邳县、新县海连市划归江苏省。1953年7月，沂水专区撤销，除日照县划归胶州专区外，所辖其余各县皆划归临沂专区，同时，原属滕县专区的平邑县亦并入临沂专区。1956年3月，日照县划归临沂专区。至1961年4月，临沂专区辖临沂、郯城、苍山、临沭、莒南、沂南、沂水、沂源、蒙阴、平邑、费县、日照、莒南13个县市。1989年6月12日，国务院确定，日照市升格为地级市。12月2日，国务院确定，沂源县划归淄博市管辖。1992年1月，莒县划归为日照市管辖。至此，临沂地区辖临沂、郯城、苍山、莒南、沂水、蒙阴、平邑、费县、沂南、临沭10个县市。 1994年12月17日，国务院批准撤销临沂地区和县级临沂市，设立地级临沂市。原市级临沂市分为兰山、河东、罗庄3个县级行政区。地级临沂市辖兰山、罗庄、河东3区和郯城、苍山、莒南、沂水、沂南、平邑、费县、蒙阴、临沭9县。市人民政府驻原临沂地区行署驻地。临沂市设立兰山区、罗庄区和河东区。兰山区辖兰山、金雀山、银雀山3个街道办事处和白沙埠镇、义堂镇、大岭镇、李官乡、半程镇、枣沟头镇、南坊乡、朱保乡、马厂湖乡。区人民政府驻原县级临沂市人民政府驻地。罗庄区辖罗庄镇、付庄镇、盛庄镇、册山镇、程庄乡、岑石乡，区人民政府驻罗庄镇。河东区辖九曲镇、相公镇、汤头镇、芝麻墩镇、梅埠镇、重沟镇、黑墩乡、汤河乡、郑旺乡、太平乡、八湖乡、刘店子乡，区人民政府驻九曲镇。
1991年1月14日，撤销临沂市九曲乡，设立九曲镇；撤销临沂市白庄乡，设立盛庄镇。1993年9月8日，撤销临沂市大岭乡，设立大岭镇；撤销临沂市南坊乡，设立南坊镇；撤销临沂市册山乡，设立册山镇。1994年9月7日，撤销临沂市梅埠乡、重沟乡、芝麻墩乡、半程乡、枣沟头乡，设立梅埠镇、重沟镇、芝麻墩镇、半程镇、枣沟头镇。
青驼寺镇
在山东临沂县北九十里，居蒙山河之西，为往来要道，清时置驿于此，后移徐公店。
