扫描电镜可以不和其他仪器组合来分析特征X射线信号或者俄歇电子吗

Question

如题所述

Answer 1

你这句话似乎有点歧义，不知道你到底要问啥，
1）扫描电镜上如果加装了EDS能谱探头或者俄歇电子能谱探头，就可以分别分析样品被激发出的特征X射线信号或者俄歇电子信号。
2）扫描电镜可以不装上述探头，则不能做上述分析，例如只利用二次电子像或背散射电子像等手段做形貌分析。
3）也有不需要扫描电镜，单独的、或者加装在别的设备上的EDS能谱分析仪和俄歇电子能谱分析仪，可以不依赖于扫描电镜而分析特征X射线信号或者俄歇电子，但这样的分析的空间分辨率通常远低于加装在扫描电镜上的设备。
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不知道这几点能不能解决你的问题。