如何无损搬运硅片？

Question

如题所述

Answer 1

在搬运硅片过程中，要求真空搬运系统可高速、高节拍数搬运硅片并且要确保硅片表面无污染，且不能损伤表面绒面结构，需要搬运的过程中最大限度地稳定搬运硅片，降低硅片的损失率。施迈茨光伏吸盘SWGm采用无痕材质，不会对硅片造成物理及化学污染，同时其洁净室等级已通过德国著名研究机构弗劳恩霍夫研究所测试认证。