超纯水(Ultrapure water)又称UP水,是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水。这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程.
纯水是指水中盐类(主要是溶于水的强电解质)除去或降低到一定程度的净水设备。1.0-10.0μS/cm,电阻率(25℃)0.1-1.0*10^6cm含盐量为1-5mg/L。
纯水设备图:
一般是通过纯水进行离子交换或者混床EDI制备超纯水。
主要就是水处理后,水的纯度不一样。超纯水比纯水要纯很多。超纯水设备比纯水设备多了不少工程。主要的就是超纯水设备比纯水设备在后续处理多了一道EDI水处理。