2o2O年3月从荷兰进口了什么型号光刻机？

如题所述

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第1个回答 2020-04-06

光刻机现在还没有掌握核心技术，
光刻机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment System.

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。本回答被网友采纳

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