x射线光电子能谱的XPS系统组件

如题所述

第1个回答  2016-05-17

一台商业制造的XPS系统的主要组件包括: X射线源 超高真空不锈钢舱室及超高真空泵 电子收集透镜 电子能量分析仪 μ合金磁场屏蔽 电子探测系统 适度真空的样品舱室 样品支架 样品台 样品台操控装置

相似回答